|
|
Vývoj a aplikace UHV zařízení pro depozice tenkých vrstev (Atomární a iontové svazkové systémy)
Mach, Jindřich ; Čech, Vladimír (oponent) ; Lencová, Bohumila (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
V disertační práci je popsán vývoj dvou zařízení pro přípravu ultratenkých vrstev v UHV (ultravysoké vakuum) podmínkách. Je zde stručně popsána teorie atomárních svazků a dále pak podrobněji konstrukce uvedených zdrojů. V první části je popsána konstrukce termálního atomárního zdroje navrženého pro formování svazků atomů kyslíku nebo vodí-ku. Dále je uveden návrh a konstrukce iontově-atomárního zdroje pro depozici s asistencí iontových svazků. Zařízení kombinuje principy efuzní cely s elektronově srážkovým ionto-vým zdrojem generující ionty o energii iontů (30-100 eV). Zdroj byl uspěšně užit pro de-pozici GaN vrstev na Si(111) 7x7 za pokojové teploty.
|
|
|
Testování a optimalizace iontového zdroje
Glajc, Petr ; Král,, Jaroslav (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
V diplomové práci je detailně popsán proces testování iontového zdroje se sedlovým polem doplněný nejdůležitějšími výsledky experimentů. Mezi ně lze zařadit měření příčného profilu proudu iontového svazku a energiového spektra iontů pomocí Faradayovy sondy. Pomocí výsledků těchto měření je ukázáno, že optimalizovaný zdroj pracuje správně a dle očekávání. V závěru práce je popsán vývoj iontově-optického a konstrukčního návrhu fokusační optiky a dále je zobrazena vyrobená sestava optiky nainstalovaná na iontovém zdroji.
|
|
|
Optimalizace iontového zdroje se sedlovým polem
Zálešák, Marek ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Cílem mé bakalářské práce bylo provést rešeršní studii na téma iontových zdrojů a jejich aplikací. Dalším cílem bylo vytvořit modelové simulace iontového zdroje se sedlovým polem v programu EOD a následně se pokusit zdroj optimalizovat. Optimalizace spočívala ve dvou hlavních bodech. Zprovoznit iontový zdroj k prvním měření a navrhnout vychylovací soustavu iontového svazku.
|
|
|
Vývoj atomárních a iontových svazkových zdrojů
Šamořil, Tomáš ; Lencová, Bohumila (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Úkolem diplomové práce bylo provedení optimalizace iontově-atomárního zdroje, která povede ke zlepšení vlastností iontově-atomárního svazku. Zlepšení parametrů svazku zvyšuje účinnost iontově-atomárního zdroje při depozicích ultratenkých gallium nitridových vrstev (GaN), jež jsou důležité pro výzkum v oblasti mikroelektroniky a optoelektroniky. Po uskutečnění optimalizace byly při nižších teplotách substrátu (
|
|
|
Optimalizace iontového zdroje typu Colutron
Horký, Michal ; Mach, Jindřich (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá návrhem a konstrukcí iontového děla typu Colutron, který vytváří svazek iontů dusíku o energii od desítek až po tisíce eV. V první části práce je stručně popsána problematika tvorby iontů a princip fungování iontového zdroje. Druhá část je věnována úpravě komerčního iontového zdroje americké společnosti Colutron a jeho kompletaci. Parametry iontového svazku pro různé tvary extrakčních elektrod a hodnot provozních parametrů byly experimentálně ověřeny v testovací aparatuře.
|
|
|
Návrh iontového zdroje pro odprašování
Glajc, Petr ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje. Jejím cílem je navrhnout iontový zdroj se sedlovým polem pro odprašování. Inovací ve vypracovaném návrhu je kombinace klasického válcově symetrického iontového zdroje a žhavené katody vyrobené z wolframu. V první části práce je uvedena rešerše problematiky iontových zdrojů. Druhá část se zabývá elektronově-optickým návrhem zdroje a simulací elektrostatického pole včetně trajektorií elektronů a iontů. Jsou také odhadnuty některé parametry iontového zdroje. V třetí části je detailně popsán konstrukční návrh založený na předchozích simulacích. Součástí práce je kompletní výkresová dokumentace.
|
|
|
Řízení depozičního procesu pomocí počítače
Pavera, Michal ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Urbánek, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá problematikou spojenou s návrhem automatizace depozice ultratenkých vrstev metodou IBAD. Jedním z úkolů bakalářské práce je návrh a realizace ovládání držáku substrátu a terče. Tato práce tedy obsahuje výkresovou dokumentaci úpravy manipulátorů držáku terče a ovládání clony, pro možnost jejich ovládání pomocí krokových motorů. Dalším úkolem je návrh elektrického a programového řízení primárního a sekundárního iontového zdroje. Je zde tedy popsáno řešení propojení celé aparatury s počítačem pomocí AD/DA převodníků a jejich vhodné naprogramování. V závěru jsou diskutovány rozdíly mezi manuálním a automatizovaným ovládání a také jejich klady a zápory.
|
|
|
Vývoj miniaturizovaného iontového zdroje pro chemickou ionizaci za atmosférického tlaku (HPLC/MS)
Rumlová, Barbora ; Cvačka, Josef (vedoucí práce) ; Jelínek, Ivan (oponent)
Tato práce se zabývá miniaturizovaným iontovým zdrojem pro chemickou ionizaci za atmosférického tlaku (APCI), jehož klíčovou součástí je skleněný vyhřívaný mikrofluidní čip. Iontový zdroj byl sestaven z mikrofluidního čipu umístěného na mikromanipulátoru a jehlové elektrody pro koronový výboj. Geometrické uspořádání těchto prvků vůči vstupní vyhřívané kapiláře hmotnostního spektrometru LCQ Fleet (Thermo) bylo optimalizováno na základě velikosti signálu reserpinu. Roztok reserpinu o koncentraci 10 µg/ml byl kontinuálně přiváděn do vyhřívaného čipu pomocí stříkačkového čerpadla. Dále byl optimalizován průtok nebulizačního plynu. Při stejném hmotnostním toku reserpinu byla velikost signálu protonované molekuly reserpinu o dva řády vyšší než u komerčního iontového zdroje pro APCI (Thermo). Přetrvávajícím problémem testovaného miniaturizovaného zdroje je vysoká nestabilita signálu detekovaných iontů. Klíčová slova: hmotností spektrometrie, mikro APCI, mikrofluidní čip,
|
|
|
Optimalizace iontového zdroje se sedlovým polem
Zálešák, Marek ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Cílem mé bakalářské práce bylo provést rešeršní studii na téma iontových zdrojů a jejich aplikací. Dalším cílem bylo vytvořit modelové simulace iontového zdroje se sedlovým polem v programu EOD a následně se pokusit zdroj optimalizovat. Optimalizace spočívala ve dvou hlavních bodech. Zprovoznit iontový zdroj k prvním měření a navrhnout vychylovací soustavu iontového svazku.
|
|
| |
host ::
RSS.